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차세대 노광 장비 '하이-NA EUV' 눈앞…국내 마스크 업계에 기회 열리나 (새 창)
기타 소식www.digitaltoday.co.kr제공 요약 읽기 — 차세대 노광 장비 '하이-NA EUV' 눈앞…국내 마스크 업계에 기회 열리나
SK증권에 따르면 에프에스티 는 탄소나노튜브(CNT) 기반 EUV 펠리클(마스크 보호막)로 연내 ASML 인증을 받은... 내년 1분기에는 에프에스티 의 EUV 관련 인프라 장비가 주요 고객사 최선단 파운드리 라인에 설치될...
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